Ein besonderes Verfahren innerhalb der Naßwäscher-Technologie stellt die Oxidationswäsche dar. Hier wird dem Waschmedium zur chemischen Zerstörung giftiger oder schwer abbaubarer Substanzen ein starkes Oxidationsmittel zudosiert. In den meisten Fällen ist dies Ozon oder Wasserstoffperoxid, dessen Einsatz in einer sauren oder neutralen Wäscherstufe am effektivsten ist.

Klassische Anwendungsfälle dieser Technik sind die NOx -Abscheidung, wo wasserunlösliches NO zu wasserlöslichem NO2 aufoxidiert wird, oder die Abscheidung des giftigen H2S (z.B. im Kläranlagenbereich), das durch Oxidation in unkritisches SO4 überführt wird.